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文档序号:15928491
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第1引导体(M1)和第2引导体(M2)被配置成如下的位置关系,第1移动体(T1)的第1移动轨迹的上端侧部分和第2移动体(T2)的第2移动轨迹的下端侧部分的上下方向的位置重叠。第1移动体(T1)具备第1移载装置(TS1),且第2移动体(T2)...
该专利属于株式会社大福所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大福授权不得商用。
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