下载环形间隔件的技术资料

文档序号:15919963

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本发明提供环形间隔件,其在将图像传感器表面的罩玻璃或带有3DS‑IC结构的半导体晶圆等板状物收纳于容器内并搬送的情况下,能够抑制向这些板状物表面转印或使其受损地进行搬送。本发明为在收纳并搬送板状物的容器内,介于板状物的上下之间的环形间隔件,...
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