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复合微组装策略及装置制造方法及图纸
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文档序号:15919951
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所揭示的技术大体上涉及利用复合微组装来组装功能装置的设计及方法。此方法涉及同质衬底(302)上功能装置元件的形成。此后,所述功能装置元件被组装在中间衬底上且经电互连以便形成个别微型系统(304)的阵列。所述微型系统从而被转移(一次一或多个)...
该专利属于艾克斯瑟乐普林特有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾克斯瑟乐普林特有限公司授权不得商用。
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