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薄膜晶体管、薄膜晶体管的制造方法以及激光退火装置制造方法及图纸
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文档序号:15919940
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本发明是在基板(5)上层叠地具备栅极电极(1)、源极电极(3)、漏极电极(4)以及半导体层(2)的薄膜晶体管,上述半导体层(2)是多晶硅薄膜(8),为与上述源极电极(3)和上述漏极电极(4)分别对应的区域的上述多晶硅薄膜(8)的晶体粒径比被...
该专利属于株式会社V技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社V技术授权不得商用。
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