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过孔阻挡层制造技术
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下载过孔阻挡层的技术资料
文档序号:15919934
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公开了用于使在给定互连层内的选定过孔绝缘或电隔离的技术,所以导电布线可在那些选定隔离过孔之上跳过以到达在该同一层中的其它过孔或互连。这样的过孔阻挡层可按需要选择性地实现在给定互连内的任何数量的位置中。还提供用于形成过孔阻挡层的技术,包括第一...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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