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本发明的目的是提供：一种基板保持装置，其有利于在卸载基板时在短时间内从密封构件分离基板；和一种光刻设备。本发明涉及一种保持基板3的基板保持装置10。基板保持装置10具有：保持构件16和密封构件31，所述保持构件具有中心部40和外周边部41，...
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