下载区熔晶体的自动生长方法及系统的技术资料

文档序号:15917612

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本发明公开了一种区熔晶体的自动生长方法及系统,方法包括如下步骤:在自动扩肩生长阶段,当单晶的直径大于某层圆台形生长区间的下底面直径且小于上底面直径时,单晶所处的生长区间即为该层圆台形生长区间;单晶在所处的已配置生长参数的生长区间生长;其中,...
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