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氧化物烧结体、溅射用靶、以及使用其得到的氧化物半导体薄膜制造技术
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文档序号:15916480
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一种氧化物烧结体、以及使用该氧化物烧结体的溅射用靶,对所述氧化物烧结体而言,通过溅射法制成氧化物半导体薄膜时,能够得到低载流子浓度、高载流子迁移率。该氧化物烧结体含有以氧化物方式存在的铟、镓以及铝。以Ga/(In+Ga)原子数比计的镓的含量...
该专利属于住友金属矿山株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友金属矿山株式会社授权不得商用。
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