下载一种掩膜板的制作方法、制作系统及掩膜板的技术资料

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本文公开了一种掩膜板的制作方法和掩膜板。所述掩膜板的制作方法包括:在测试基台上对基准掩膜板上的制作图案进行位置测量,将所述制作图案的测量位置与设计位置进行比较获得所述基准掩膜板上各处的图案位置偏差量;参考所述基准掩膜板上各处的图案位置偏差量...
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