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本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,包括料座上料机构及晶棒上料机构,用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机...该专利属于天津中环半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津中环半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组,包括料座上料机构及晶棒上料机构,用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机...