下载通过电荷工程实现的弱极化HEMT器件的技术资料

文档序号:15901670

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本实用新型公开了一种通过电荷工程实现的弱极化HEMT器件,其包括异质结构以及与异质结构配合的栅电极、源电极和漏电极,所述异质结构包括沟道层和势垒层,所述源电极和漏电极通过所述异质结构中的二维电子气电连接,所述势垒层为铝组分含量在20%以下的...
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