温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出一种晶圆检查台宏观照明装置，包括：第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤，分别设置于所述晶圆检查台的两侧；LED灯光源，连接于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤；聚光镜，分别设置于所述第一宏观照明光纤和第二宏观照明光纤的头部顶...
该专利属于上海精典电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精典电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。