下载一种太阳能硅片的表面缺陷检测装置的技术资料

文档序号:15897368

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本发明涉及一种太阳能硅片的表面缺陷检测装置,包含抓取部件、环形轨道、检测部件、驱动系统和控制系统,其中检测部件包含拍照部件一和拍照部件二,所述拍照部件一设于所述吸盘的下方,所述拍照部件一的位置适配所述吸盘的转动轨迹,所述拍照部件一用于拍摄硅...
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