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制造半导体封装的方法技术
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文档序号:15897363
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本发明公开了一种制造半导体封装的方法,其包含在晶圆中形成至少一个导电通孔,其中导电通孔具有第一端与相对第一端的第二端,其中晶圆具有第一表面与相对第一表面的第二表面,且导电通孔的第一端露出于晶圆的第一表面;研磨晶圆的第二表面以形成内部分与环绕...
该专利属于美光科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过美光科技公司授权不得商用。
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