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本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,具体为一种精确控制硅片切片装置,其能够自动实现硅片的切片操作,保证切割精度,其包括底座,底座上安装有两个对称平行布置的横向导轨,横向导轨上通过横向滑块安装有切割平台,切割平台上安装有切割夹具,在两个横向导...该专利属于无锡明珠增压器制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡明珠增压器制造有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,具体为一种精确控制硅片切片装置,其能够自动实现硅片的切片操作,保证切割精度,其包括底座,底座上安装有两个对称平行布置的横向导轨,横向导轨上通过横向滑块安装有切割平台,切割平台上安装有切割夹具,在两个横向导...