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本发明涉及一种蒸镀坩埚热场控制装置，其包括：蒸镀坩埚、加热装置；若干温度检测单元，用于检测所述蒸镀坩埚上若干检测点的温度；若干反射板，设置于所述蒸镀坩埚的外围，且用于向蒸镀坩埚反射热量；以及控制单元，基于若干所述温度检测单元所检测的温度，控...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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