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提供了减压装置及利用其制造发光显示装置的方法。作为示例，减压装置包括腔室、支承台、喷气部、排气装置及排气管，其中，支承台布置在上述腔室的内部下侧并支承衬底，喷气部布置在上述支承台的上方并配置成在面对上述衬底的位置处朝着上述衬底侧喷射惰性气体...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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