减压装置及利用其的发光显示装置的制造方法制造方法及图纸

提供了减压装置及利用其制造发光显示装置的方法。作为示例，减压装置包括腔室、支承台、喷气部、排气装置及排气管，其中，支承台布置在上述腔室的内部下侧并支承衬底，喷气部布置在上述支承台的上方并配置成在面对上述衬底的位置处朝着上述衬底侧喷射惰性气体，排气装置布置在上述腔室的上方外侧，排气管在上述排气装置与上述腔室的上部之间布置成连接至上述排气装置并且提供使根据上述排气装置的排气操作和上述惰性气体的喷射而在面对上述衬底的位置、布置有上述衬底的位置和面对上述衬底的位置上连续流动的气流将上述腔室内部的气体向上述腔室的上部外侧排出的通道。

Pressure reducing device and method for manufacturing light emitting display device using the same

A pressure relief device and a method of manufacturing a light emitting display device using the same are provided. As an example, the pressure relief device comprises a chamber, a supporting table, jet, exhaust and exhaust pipe, wherein, the supporting platform is arranged in the lower side of the inner chamber and the support substrate, the jet part is arranged above the supporting platform and configured at a position facing the substrate toward the substrate side injection of inert gas, exhaust the above device arranged on the outer side of the chamber, the exhaust pipe between the upper part of the exhaust device and the chamber are arranged and connected to the exhaust and the exhaust apparatus according to the jet exhaust operation and the inert gas and in the face of the substrate position and layout position of the substrate position and the air face of the substrate the continuous flow of the gas inside the chamber will be discharged to the outside of the upper chamber of the channel.

【技术实现步骤摘要】
减压装置及利用其的发光显示装置的制造方法
本专利技术涉及减压装置及利用其的发光显示装置的制造方法。
技术介绍
在发光显示装置之中，有机发光显示装置作为自发光显示元件，其不仅具有视角宽、对比度优异的优点，而且还具有响应速度快的优点，因此作为下一代显示装置而受到瞩目。有机发光显示装置具有在阳电极与阴电极之间由有机发光物质构成的发光层。随着阳极电压和阴极电压分别施加到这些电极，从阳电极注入的空穴(hole)经由空穴注入层和空穴传输层移动至发光层，而电子从阴电极经由电子注入层和电子传输层移动至发光层，从而使电子与空穴在发光层中复合。通过这种复合生成激子(exciton)，并且随着该激子从激发态跃迁至基态而从发光层放射出光，从而显示图像。有机发光显示装置包括像素限定膜，其中该像素限定膜具有开口部以暴露形成于在衬底上排列成矩阵形式的各个像素中的阳电极，并且空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴电极形成在通过该像素限定膜的开口部暴露的阳电极上。其中，空穴注入层、空穴传输层和发光层可利用喷墨印刷方法或喷嘴印刷方法等的溶液涂覆方法将有机溶液(包括有机物质和溶剂)排放至像素限定膜的开本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压装置，包括：腔室；支承台，布置在所述腔室的内部下侧并支承衬底；喷气部，布置在所述支承台的上方并配置成在面对所述衬底的位置处向所述衬底侧喷射惰性气体；排气装置，布置在所述腔室的上方外侧；以及排气管，在所述排气装置与所述腔室的上部之间布置成连接至所述排气装置，并且提供使根据所述排气装置的排气操作和所述惰性气体的喷射而在面对所述衬底的位置、布置有所述衬底的位置和面对所述衬底的位置上连续流动的气流将所述腔室内部的气体向所述腔室的上部外侧排出的通道。

【技术特征摘要】
2016.01.19 KR 10-2016-00064341.一种减压装置，包括：腔室；支承台，布置在所述腔室的内部下侧并支承衬底；喷气部，布置在所述支承台的上方并配置成在面对所述衬底的位置处向所述衬底侧喷射惰性气体；排气装置，布置在所述腔室的上方外侧；以及排气管，在所述排气装置与所述腔室的上部之间布置成连接至所述排气装置，并且提供使根据所述排气装置的排气操作和所述惰性气体的喷射而在面对所述衬底的位置、布置有所述衬底的位置和面对所述衬底的位置上连续流动的气流将所述腔室内部的气体向所述腔室的上部外侧排出的通道。2.如权利要求1所述的减压装置，其中，所述喷气部包括：至少一个分流管，沿着第一方向延伸；以及多个喷气管，沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸并且与所述至少一个分流管连接，并且包括喷射口。3.如权利要求2所述的减压装置，其中，所述喷射口包括第一喷射口和第二喷射口，以及以一个喷气管为基准，所述第一喷射口与所述第二喷射口在所述第一方向上布置成一对并面对所述衬底，并且所述第一喷射口与所述第二喷射口以平行于第三方向并且在所述喷气管的截面上经过中心点的假想线为基准位于两侧，其中所述第三方向垂直于所述第一方向。4.如权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸本克史，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR