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硅量子点增强的氧化锌紫外探测器制造技术
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文档序号:15879579
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本发明提供了一种新结构的氧化锡紫外探测器,包含:硅基板、氢化非晶硅层、多孔状氧化锌层、孔的内壁上形成硅量子点,形成硅量子后通过溶胶凝胶法在孔内填充氧化锌凝胶,并热处理使多孔氧化锌的孔被氧化锌封闭,形成硅量子点增强的氧化锌光活性层,形成硅量子...
该专利属于黄晓敏所有,仅供学习研究参考,未经过黄晓敏授权不得商用。
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