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一种应用于晶体硅太阳电池的Si/TiOx结构制造技术
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文档序号:15879578
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一种应用于晶体硅太阳电池的Si/TiOx结构,在晶体硅表面之上为一层钝化TiOx层,钝化TiOx层之上为一层n‑TiOx层,形成晶体硅‑钝化TiOx层‑n‑TiOx层结构。该结构使用双层TiOx与晶体硅形成异质结。其中,内层的钝化TiOx可...
该专利属于南昌大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌大学授权不得商用。
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