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一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管包括:衬底基板以及设置于所述衬底基板上的栅电极和栅绝缘层;有源层,所述栅绝缘层设置于所述有源层和所述栅电极之间;所述有源层包括沟道区和设置在所述沟道区至少一侧的掺杂区;其中,所述栅...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管包括:衬底基板以及设置于所述衬底基板上的栅电极和栅绝缘层;有源层,所述栅绝缘层设置于所述有源层和所述栅电极之间;所述有源层包括沟道区和设置在所述沟道区至少一侧的掺杂区;其中,所述栅...