下载一种高雪崩耐量的超结DMOS器件的技术资料

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本发明涉及功率半导体器件技术领域,具体涉及到一种高雪崩耐量的超结DMOS器件。本发明提供一种高雪崩耐量的超结DMOS器件,在现有超结DMOS器件中,通过改变超结结构第一导电类型掺杂柱区的掺杂浓度来固定超结DMOS器件的雪崩击穿点,具体的为降...
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