下载一种场效应晶体管及制作方法的技术资料

文档序号:15879556

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本发明提供了一种场效应晶体管,包括第一结构,所述第一结构包括衬底,在所述衬底上形成有间隔分布的多个场区氧化层,所述多个场区氧化层的间隔区域形成有栅极氧化层,所述栅极氧化层靠近衬底方向形成有源漏区,所述场区氧化层的部分区域覆盖有多晶硅层,在所...
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