下载TFT基板的制作方法的技术资料

文档序号:15879497

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本发明提供了一种TFT基板的制作方法。该制作方法包括以下步骤:利用第一道光罩工艺,在基板上形成缓冲层、数据线以及源极,并在该缓冲层上设置第一扫描线、第二扫描线以及栅极;利用第二道光罩工艺,在缓冲层、栅极上形成第一绝缘层,在数据线上形成第二绝...
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