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基于混合集成的片上光源结构及其制备方法技术
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文档序号:15878201
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本发明提供一种基于混合集成的片上光源结构,包括载板、载板互连线、激光器、准直透镜、光隔离器和密闭盖板,其中,激光器通过所述载板互连线获得供电并连接到载板;激光器发射的光依次通过准直透镜、光隔离器、密闭盖板下部,以最佳入射角入射位于光子芯片表...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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