温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导的制作方法，包括以下步骤：(1)选择二氧化硅作为基底材料，上部生长一层硅片；(2)在硅片上进行融刻，制作基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的器件结构，包括竖向部分和横向部分，竖向部分和横向部分结构上...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。