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本发明提供了一种双波段冷镜的制作方法及装置，所述方法克服了远紫外波段材料色散现象严重和材料吸收不可忽略等设计难点，采用的非对称高斯包络剪裁膜厚调制方法有创新性，在计算机光学薄膜软件优化过程中，用高斯型曲线来表示121.6nm反射带的目标曲线...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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