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无水的液相制备高纯度含羟基聚合物的方法技术
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文档序号:1587813
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一种无水的液相制备高纯度含羟基聚合物的方法,包括聚合、提纯、酯交换、提纯、除去催化剂和溶剂交换步骤。最终的在溶液中的聚合物在不需要进一步的加工步骤的条件下,能直接地用于制备一种光致抗蚀剂组合物。...
该专利属于杜邦电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杜邦电子科技有限公司授权不得商用。
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