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光和气体复合探测器制造技术
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下载光和气体复合探测器的技术资料
文档序号:15877841
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本发明提供了一种光和气体复合探测器,包括多孔氧化锡层作为气体探测部分的气体传感层,在光探测部分采用硫化镉层和成分渐变的铜铟镓硒硫层,将气体传感器和光电传感器集成于同一衬底上,并且在衬底上同时形成探测电路,这样使得一个传感器能够同时探测气体和...
该专利属于黄晓敏所有,仅供学习研究参考,未经过黄晓敏授权不得商用。
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