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基于热压的聚二甲基硅氧烷印章批量制备方法技术
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下载基于热压的聚二甲基硅氧烷印章批量制备方法的技术资料
文档序号:1587772
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一种基于热压的聚二甲基硅氧烷印章批量制备方法,用于微电子技术领域。通过增加热压工艺同时制备出大量聚二甲基硅氧烷印章,首先加工母板及对母板表面进行抗粘处理,然后重复用母板热压出大量聚合物模具,最后在得到的聚合物模具上旋涂或浇铸聚二甲基硅氧烷预...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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