下载再装填装置及使用了该再装填装置的硅原料的熔解方法的技术资料

文档序号:15876664

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本发明提供一种不仅能够可靠地进行原料的再装填,而且能够在之后的原料熔解工序中提高原料的加热效率的再装填装置以及使用了该再装填装置的电力削减效果高的硅原料的熔解方法。再装填装置(20)具有装料管(21)、底盖(23)和轴(24),该装料管收纳...
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