下载基板的定位和传送的技术资料

文档序号:15867939

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本发明涉及基板的定位和传送。一种用于在喷墨系统中支撑基底的基底输送机包括输送机主体,其包括用于支撑基底的输送机支撑面,和用于将基底输送到输送机支撑面并从输送机支撑面输送回基底的基底传送单元。该基底传送单元包括用于夹持基底的至少一个夹子。根据...
该专利属于穆特拉茨国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过穆特拉茨国际有限公司授权不得商用。

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