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微机械热结构和制造该微机械结构的方法技术
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文档序号:1586742
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一种微机械热结构,包括 两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料,第一方向横向于第二方向,并且所述两层包含取向聚合物,所述第一层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子指向矢。...
该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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