下载微机械热结构和制造该微机械结构的方法的技术资料

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一种微机械热结构,包括    两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料,第一方向横向于第二方向,并且所述两层包含取向聚合物,所述第一层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子指向矢。...
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