微机械热结构和制造该微机械结构的方法技术

一种微机械热结构，包括　　　　两层在第一方向和第二方向上分别具有不同热膨胀系数的材料，第一方向横向于第二方向，并且所述两层包含取向聚合物，所述第一层的取向聚合物的分子指向矢横向于所述第二层的取向聚合物的分子指向矢。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种微机械热结构。本专利技术进一步涉及包含该微机械热结构的热光调制器以及制造该微机械热结构的方法。这种类型的微机械热结构可用在调制辐射的设备，例如可转换镜、智能窗、快速成像装置和光学记录介质。从美国专利US6137623中已知一种在首段中提及的那种类型的微机械热结构。该文件公开了一种热操作(thermally actuated)板，其中一个加热器夹在两个具有不同热膨胀系数的聚合物层之间。例如，如果两个层在第一初始温度具有相同的长度，那么在一个不同于初始温度的温度下，一个层的长度将会不同于另一个层的长度。进一步，该文件公开了一种包括多个热光结构的热光调制器，该多个热光结构设置在一个形成一反射表面的微电子衬底上，其中，通过有选择地加热这些热光结构，热光结构在该反射面内引入了一种不连续性，以便能够反射或者吸收冲击辐射。这种已知热光结构的一个缺点是它们是用传统的微电子或微机械技术来制造的，这其中还需要若干掩模和刻蚀步骤。本专利技术的一个目的是提供一种如在首段中提及的微机械热结构以及一种能用本身就很简单的技术来制造的热光调制器。为了达到这个目的，本专利技术的第一方面提供如权本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：D·J·布罗尔，G·N·莫尔，C·M·R·德维茨，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：