下载具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法的技术资料

文档序号:15866249

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本发明提供一种具有氮化镓量子点的紫外LED的外延结构及其生长方法,生长方法包括如下步骤:1)在衬底上,从下至上依次生长缓冲层、非掺杂层、N型掺杂层;2)在所述N型掺杂层上生长Q个量子阱结构,所述每个量子阱结构包含量子阱层和量子垒层AlyGa...
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