下载一种发光二极管的外延片的制备方法的技术资料

文档序号:15866244

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本发明公开了一种发光二极管的外延片的制备方法,属于光电子技术领域。该制备方法包括提供一衬底,在衬底上依次生长缓冲层、成核层、未掺杂GaN层、N型层和有源层,其中,有源层采用下述方式生长:步骤1:停止向反应腔内通入三甲基镓,并向反应腔内通入三...
该专利属于华灿光电(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华灿光电(浙江)有限公司授权不得商用。

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