下载PERC太阳能电池硅片背面的清洗方法的技术资料

文档序号:15866236

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本发明公开了PERC太阳能电池硅片背面的清洗方法,该清洗发生在PERC太阳能电池制备过程中电池硅片沉积正面氮化硅膜之后、沉积背面氧化铝膜之前,包括依次进行的如下步骤:(1)将硅片放入KOH和H2O2的混合溶液中;(2)将硅片放入去离子水中进...
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