温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管的制作方法，在有源层上图案化形成栅极与栅极绝缘层后，以栅极与栅极绝缘层为阻挡层，通过等离子掺杂工艺对所述有源层进行第一次掺杂，形成轻掺杂区，然后沉积形成层间介电层，在层间介电层上对应轻掺杂区上方形成第一过孔...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。