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本发明实施例公开了一种电子器件及其制备方法,电子器件包括:衬底;位于衬底上的埋氧层;位于埋氧层上的漂移层,漂移层的上表面形成有窗口;位于窗口内壁或者窗口内壁以及窗口下表面的掺杂区,掺杂区包括第一掺杂区和第二掺杂区;位于窗口内的绝缘层,绝缘层...该专利属于工业和信息化部电子第五研究所华东分所所有,仅供学习研究参考,未经过工业和信息化部电子第五研究所华东分所授权不得商用。
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