下载一种半导体器件及其制备方法、电子装置的技术资料

文档序号:15865955

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本发明涉及一种半导体器件及其制备方法、电子装置。所述方法包括步骤S1:提供第一晶圆和第二晶圆,并将所述第一晶圆和所述第二晶圆相接合;步骤S2:在所述第二晶圆进行图案化之前蚀刻所述第二晶圆的边缘,以去除所述第二晶圆的边缘部分,以释放所述第二晶...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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