下载具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法的技术资料

文档序号:15865949

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本发明提供一种具有自动清洗功能的蚀刻腔室及其清洗组件、清洗方法。该清洗组件包括第一喷淋机构和第二喷淋机构,第一喷淋机构用于喷淋蚀刻液,第二喷淋机构设置于第一喷淋机构的上方,第二喷淋机构用于在第一喷淋机构停止喷淋蚀刻液时喷淋清洗液,以对第一喷...
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