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本发明公开了一种多功能双灯丝离子源，包括弧室腔体，工艺气体被导入其中，在其内部生成等离子体；阳极筒，兼作阳极，安装在弧室腔体内并与其绝缘；两个热阴极，分别布置在阳极筒内两侧并与阳极筒和弧室腔体分别绝缘；两个阴极，分别布置在阳极筒内两侧并与阳...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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