下载一种实时动态平衡装置的技术资料

文档序号:15865616

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本发明公开了一种实时动态平衡装置,其包括安装真空室的基座、安装在基座上用于支撑基座的支撑机构、安装基座和支撑机构之间用于调节支撑机构相对基座的角度保证真空室运动的平稳性的旋转机构。本发明能实现真空室在组装移动过程中的实时动态平衡;能有效平衡...
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