下载一种全自动插片机的技术资料

文档序号:15864903

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本实用新型公开了一种全自动插片机,旨在提供一种具有工作效率高、硅片插装工作配合协调等优点的全自动插片机,其技术方案要点是包括机体,所述机体上设有硅片输出装置、吹气装置、硅片传送装置、硅片收集装置以及用于控制硅片插装动作的控制系统,所述硅片输...
该专利属于杭州弘晟智能科技有限公司;浙江海纳半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州弘晟智能科技有限公司;浙江海纳半导体有限公司授权不得商用。

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