下载电光器件的技术资料

文档序号:15864883

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本实用新型涉及一种电光器件,包括:复合衬底,包括硅衬底层以及键合在所述硅衬底层上的蓝宝石衬底层;开关结构层,由生长在所述蓝宝石衬底层上的氮化镓晶体形成;以及器件主体结构,包括键合于所述硅衬底层上的电光晶体层。上述电光器件,由于采用氮化镓基晶...
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