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本实用新型公开一种非接触式表面平面度光学测量设备，包括机柜、上料模组、CCD影像系统、激光测量模组、XYZ轴下料模组和四轴机械手，机柜上安装有上料模组、CCD影像系统、激光测量模组、XYZ轴下料模组和四轴机械手；待测工件放置在所述上料模组上...
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