下载密封组件、转动部及真空加工设备的技术资料

文档序号:15860473

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本发明提供了一种密封组件、转动部及真空加工设备。密封组件包括限位部;密封部,限位部设置于密封部的一侧,密封部的另一侧具有真空工作空间,限位部与密封部形成有用于将转动部限位并密封的容纳腔,转动部穿过限位部和密封部设置并延伸至真空工作空间内以形...
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