下载一种紫外透明导电薄膜及其制造方法的技术资料

文档序号:15858200

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本发明提供一种氧化铟基透明导电薄膜及其制备方法,该氧化铟基透明导电薄膜包括基底材料、氧化铟籽晶层和氧化铟主体层;所述氧化铟籽晶层附着在基底材料的表面,所述氧化铟主体层附着在氧化铟籽晶层的表面。其通过金属有机化学气相沉积的方式制备,以有机金属...
该专利属于佛山市中山大学研究院;中山大学所有,仅供学习研究参考,未经过佛山市中山大学研究院;中山大学授权不得商用。

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