下载一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法的技术资料

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本发明公开了一种TFT用铜刻蚀液废液的安全储存方法,当面板厂Cu刻蚀液废液排放至储液池时,系统启动,将储液池中废液、后储罐中稀释液注入分解罐、稀释后废液通过分解罐分解层分解,产生气体经引风机排入面板厂废气管道;分解后废液经H2O2在线监测,...
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