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公开了通过硅烷的热分解而制备多晶硅的方法。该方法一般性地涉及使硅烷在反应条件下操作的流化床反应器中热分解，其产生相对于常规制备方法的高生产率。...
该专利属于MEMC电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过MEMC电子材料有限公司授权不得商用。

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